一、洁净形式 1、洁净室按工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等； 2、洁净室按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。 3、电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度要求严格时，宜采用微环境型式。 二、防火设计要求 1、电子洁净厂房的耐火等级不应低于二级。 2、电子洁净厂房洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073 的有关规定。 三、环境参数控制要求 微粒、对产品质量有害的杂质、温度、湿度、压差、噪声、振动、…