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一般洁净实验室设计标准
洁净实验室是污染操控的根基,如果没有了洁净室,那么对于那些污染灵敏的零件是不可能批量出产的。 洁净实验室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为“无尘实验室”。 对于洁净实验室也是有等级分类的: 首先就是空气中的尘埃的数目的直径大于等于0.5um,要是按照无尘哎度的话,就可以分成100,1K,10K,100K四个等级,在10K等级的无尘室内,大于等于0.5um的尘埃的一般每立方英尺不能超过10000个。 洁净实…